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SEMI E6 Data Sheet 400

SEMI E6 Data Sheet 400

弊社ではSEMI E6データシート400「電力」の測定が可能です。測定器に電源ラインを接続するだけで(図1参照)、SEMI E6データシート400で記入が求められている「平均実行電力(アイドル、プロセス、最大値)」、「平均皮相電力(アイドル、プロセス、最大値)」、「平均電流(アイドル、プロセス)」、「最大電流」、「全高調波電流歪み」、「プロセスサイクル時エネルギー」を測定できます。(図2参照)

図1.接続例
図1.接続例
図2.測定結果例
図2.測定結果例

また上記データと共に提供が求められている「電力特性評価プロット」も測定可能です。(図3参照)

図3.電力特性評価プロット
図3.電力特性評価プロット

 このグラフは装置のアイドル時から各プロセスモードの電力値を時間軸に沿ってプロットしたもので、各プロセスモードごとにグラフの色を変え表示することが可能です。
 この他にも、アイドル時から各プロセスモードにおける皮相電力、最大電流、サイクル時エネルギー等を時間軸に沿ってグラフで表すことが可能です。

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